IONIX® Magnetron Sputtering Sources

   

IONIX®
Circular High Vacuum
Magnetron

IONIX® 
Circular Ultra-high Vacuum
Magnetron

IONIX® 
Rectangular
Magnetrons

Read more-> Read more-> Read more->

Magnetron sputtering has become a widespread vacuum coating technoloy, which is a cost-effective and technologically advanced alternative for the deposition of high quality thin films. Todays increasing requests on layer performance, film properties and surface engineering capabilities request magnetron sputtering cathodes that show best performance on the subjects of 

  • power density and rate
  • target utilization
  • film thickness distribution
  • low pressure operation
  • easy to maintain and handle

THIN FILM CONSULTING presents the IONIX® magnetron sputtering sources with a flexible architecture to cope with these partially contradicting performance issues. The IONIX® concept is based on

  • flexible magnet arrays
  • maximum reliability
  • versatile in handling

With a strong focus on reliability the magnet arrays are isolated from cooling water, avoiding any degradation of magnetron performance. IONIX® magnetrons offer a huge variety of mechanical options and magnetic field configurations to virtually serve all needs and vacuum environments. All IONIX® magnetrons can be either used in DC-, RF- or pulsed operation.

 

 

 

Notwendige Cookies helfen dabei, eine Webseite nutzbar zu machen, indem sie Grundfunktionen wie Seitennavigation und Zugriff auf sichere Bereiche der Webseite ermöglichen. Die Webseite kann ohne diese Cookies nicht richtig funktionieren. Eventuell werden in den Cookies Informationen über Ihre Daten gespeichert, die bei Ihren nächsten Besuchen aufgerufen werden können. Die in einem Cookie abgelegten Daten vereinfachen z.B. die Suche im Internet. Wir verwenden diese Cookies nicht um personenbezogene Daten zu verwenden. Informationen über die Verwendung der Cookies oder um diese auszuschließen, sollte Sie die entsprechenden Browsereinstellungen anpassen.
Weitere Informationen Ok